１〜３層各種メッキ膜厚、合金の膜厚、組成同時測定が最小コリメータΦ０．０５で微小領域の測定が可能。コントロールソフトはＷｉｎｄｏｗｓ９８パソコン上で動く対話式で、Ｘ線出力・エネルギー範囲などの自動設定機能があり、操作が簡単。各種統計量・プロファイル・３次元表示・Ｘ−Ｒ管理図などのデータ処理機能付き

・測定面積：Φ０．１〜２．０ｍｍ（５種類）
　　　　　オプションでΦ０．０５，０．０５＊０．５

・測定範囲：Ｎｉ；０．０５〜３０マイクロｍ、
　　　　　 Ａｕ；０，０１〜８．０マイクロｍ など

・メモリー：検量線１００件まで設定可能

・線　　源：油冷式小型Ｘ線管